合肥科晶 TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀

產(chǎn)品概述：

TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀是一款利用反射光譜測(cè)試薄膜厚度的儀器，可快速精確地測(cè)量透明或半透明薄膜的厚度而不損傷樣品表面的薄膜，是一款無損測(cè)厚儀，其測(cè)量膜厚范圍為15nm-50um，測(cè)量膜厚范圍廣，尤其適用于超薄薄膜厚度的測(cè)量。儀器所發(fā)出測(cè)試光的波長(zhǎng)范圍為400nm-1100nm，波長(zhǎng)范圍廣，因此，測(cè)試薄膜厚度的范圍廣。TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀測(cè)試系統(tǒng)的理論基礎(chǔ)為鏡面光纖反射探頭，該儀器尺寸小巧可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間，操作方便，讀數(shù)直觀，方便于在實(shí)驗(yàn)室中擺放和使用。

測(cè)量膜厚范圍：15nm-50um

光譜波長(zhǎng)：400 nm - 1100 nm

主要測(cè)量透明或半透明薄膜厚度：

• 氧化物

• 氮化物

• 光刻膠

• 半導(dǎo)體（硅，單晶硅，多晶硅等）

• 半導(dǎo)體化合物（ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等）

• 硬涂層（碳化硅，類金剛石炭）

• 聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)

• 金屬膜

合肥科晶 TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀

特點(diǎn)：

• 測(cè)量和數(shù)據(jù)分析同時(shí)進(jìn)行，可測(cè)量單層膜，多層膜，無基底和非均勻膜

• 包含了500多種材料的光學(xué)常數(shù)，新材料參數(shù)也可很容易地添加，支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

• 體積較小，方便擺放和操作

• 可測(cè)量薄膜厚度，材料光學(xué)常數(shù)和表面粗糙度

• 使用電腦操作，界面中點(diǎn)擊，即可進(jìn)行測(cè)量和分析

精度：0.01nm或0.01%

準(zhǔn)確度：0.2%或1nm

穩(wěn)定性：0.02nm或0.02%

光斑尺寸：標(biāo)準(zhǔn)3mm,可以小至3um

要求樣品大小：大于1mm

分光儀/檢測(cè)器：

• 400 - 1100 nm 波長(zhǎng)范圍

• 光譜分辨率: < 1 nm

• 電源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W

光源：

• 5W的鎢鹵素?zé)?/span>

• 色溫：2800K

• 使用壽命:1000小時(shí)

反射探針：

• 光學(xué)纖維探針，400um纖維芯

• 配有分光儀和光源支架

載樣臺(tái)：測(cè)量時(shí)用于放置測(cè)量的樣品

通訊接口：USB接口，方便與電腦對(duì)接

TFCompanion軟件：

• 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫包含兩500多種材料的光學(xué)常數(shù)（n：折射率，K：消失系數(shù)）

• 誤差分析和模擬系統(tǒng)，保證在不同環(huán)境下對(duì)樣品測(cè)量的準(zhǔn)確性

• 可分析簡(jiǎn)單和復(fù)雜的膜系

設(shè)備尺寸：200x250x100mm

重量：4.5kg